T/ICMTIA 4.2-2020-集成电路用氟化氩光刻胶单体第2部分：固体甲基丙烯酸酯类-国家数字标准馆

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集成电路用氟化氩光刻胶单体第2部分：固体甲基丙烯酸酯类

发布日期： 2020-12-31

实施日期： 2021-03-01

范围:本文件适用于由有机原料、溶剂、适宜阻聚剂等组分合成经精制后可适用于氟化氩树脂制备用的单体;
主要技术内容:本文件规定了集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分 固体甲基丙烯酸酯类的术语和定义、产品类型和结构特点、技术要求、分析检测方法、工艺要求、包装、贮存和运输等要求

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料

关联关系

研制信息

归口单位：中关村集成电路材料产业技术创新联盟

起草单位：徐州博康信息化学品有限公司

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