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나노제조 — 주요 제어 특성 — 제6-3부: 그래핀 기반 물질 — 도메인 크기: 기판 산화법 纳米制造——关键控制特性——第6-3部分:石墨烯基材料——畴尺寸:基底氧化
发布日期: 2023-08-25
IEC62607提出了确定以下主要控制特性的标准方法:本标准通过基板氧化法确定了域大小,为确定生长在铜薄板或铜薄膜上的石墨烯的域大小提供了一种快速、方便、可靠的测量方法。本方法可以帮助您了解石墨烯域大小对石墨烯特性的影响,并找到使用CVD石墨烯提高高速操作、挠性和透明元件性能的方法。使用本标准测量的域大小在石墨烯的空白详细规格(the blank detail specification)IEC62565-03-01中作为主要控制特性标准项目之一提出。域密度可以解释为与域大小相同的含义,但本文档不使用。根据本标准的测量方法提出的域大小由供应商提出的面积中测量的域的平均大小定义。域大小为cm2或μ显示为m2-本标准测定法可适用于化学气相沉积法生长在铜薄膜或铜薄板上的石墨烯。对铜薄板上生长的石墨烯的分析是在将石墨烯转写到其他基板之前进行的。-本标准测定法为破坏方式,用于分析的样品不得重新投入元件制作工序使用。
IEC 62607은 다음의 주요 제어 특성을 결정하는 표준 방법을 제시한다. — 도메인 크기를 기판 산화법에 의해 결정 본 표준은 Cu 박판이나 Cu 박막 위에 성장된 그래핀의 도메인 크기를 결정하는데 있어서, 신속하고, 편리하고 신뢰할 수 있는 측정법을 제공한다. 본 방법은 그래핀 도메인 크기가 그래핀의 특성에 미치는 영향을 이해하고 CVD 그래핀을 이용한 고속작동, 유연, 투명 소자의 성능을 향상시키는 방법을 찾는데 도움을 줄 수 있다. — 본 표준을 이용하여 측정된 도메인 크기는 그래핀에 대한 공란 상세 규격(the blank detail specification) IEC 62565-03-01에 주요 제어 특성 표준 항목의 하나로 제시되어 있다. 도메인 밀도는 도메인 크기와 같은 의미로 해석될 수 있지만 본 문서에서는 사용하지 않는다. — 본 표준의 측정법에 의해 제시된 도메인 크기는 공급자에 의해 제시된 면적에서 측정된 도메인의 평균 크기로 정의된다. 도메인 크기는 cm2 혹은 μm2로 표시된다. — 본 표준 측정법은 화학기상증착법에 의해 구리 박막이나 구리 박판 위에 성장된 그래핀에 적용될 수 있다. 구리 박판 위에 성장된 그래핀에 대한 분석은 그래핀을 다른 기판으로 전사하기 전에 이루어진다. — 본 표준 측정법은 파괴 방식이므로 분석에 사용된 시료는 소자 제작 공정에 재 투입되어 사용될 수 없다.
分类信息
发布单位或类别: 韩国-韩国标准
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研制信息
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