本标准适用于测量极紫外辐射的特性的装置 - 用于辐射测量用的波长范围内为10纳米至30纳米的高空间分辨率的辐射计的EUV辐射，并且设置技术他们的验证。    辐射计EUV辐射的波长范围内提供从10nm至30nm的测量辐射与在动态范围内，不超过10 3 W /（平方米•平均）的下限，则顶高空间分辨率 - 不小于10 8 W /（ M2•SR）。    重新校准间隔辐射计 - 一年

Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик экстремального ультрафиолетового излучения - радиометры экстремального ультрафиолетового излучения, предназначенные для измерений энергетической яркости с высоким пространственным разрешением в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм и устанавливает методику их поверки. Радиометры экстремального ультрафиолетового излучения обеспечивают в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм измерения энергетической яркости с высоким пространственным разрешением в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 10 3 Вт/ (м2•ср), верхняя - не менее 10 8 Вт/(м2•ср). Межповерочный интервал для радиометров - один год