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现行 KS D ISO 15632-2018
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마이크로빔 분석 — 전자 탐침 미소분석에 사용하는 에너지 분산 엑스선 분광기의 사양과 점검을 위해 선택한 기기 성능 파라미터 微束分析 - 用于电子探针微量分析的能量色散X射线光谱仪的规范和检查的选定仪器性能参数
发布日期: 2018-05-23
该标准定义了可以评价由半导体检测器、前置放大器、信号处理装置等基本部件组成的能量分散X射线光谱仪特性的最重要数值。该标准只能适用于利用固相电离原理工作的半导体检测器的光谱仪。该标准规定了与电子探针微小分析仪(EPMA)或扫描电子显微镜(SEM)中安装的分光仪相关的最低要求和检查相关仪器性能参数的方法。实际分析中使用的步骤在KS D ISO 22309[2]及ASTM E1508[3]中描述,超出了该标准的范围。
이 표준은 반도체 검출기, 전치증폭기, 신호 처리장치와 같은 기본 부품으로 구성된 에너지 분산 엑스선 분광기의 특성을 평가할 수 있는 가장 중요한 수치들을 정의한다. 이 표준은 고상 이온화 원리로 작동하는 반도체 검출기를 이용한 분광기에만 적용할 수 있다. 이 표준은 전자 탐침 미소분석기 (EPMA) 또는 주사전자현미경(SEM)에 장착된 분광기와 관련된 최소 요구사항 및 관련 기기 성능 파라미터를 점검하는 방법을 규정한다. 실제 분석에 사용하는 절차는 KS D ISO 22309 [2] 및 ASTM E1508 [3] 에 기술되어 있으며 이 표준의 범위를 벗어난다.
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