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现行 YS/T 14-2015
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异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法 Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers
发布日期: 2015-04-30
实施日期: 2015-10-01
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度,测量范围为1μm~100μm
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