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现行 T/CNIA 0063-2020
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电子工业用高纯硝酸
发布日期: 2020-05-27
实施日期: 2021-08-01
主要技术内容:本标准规定了电子工业用高纯硝酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书、订货单(或合同)内容及安全。本标准适用于电子工业用高纯硝酸(以下简称高纯硝酸)。该产品主要应用于电子级多晶硅、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路用硅片、芯片的清洗、蚀刻等
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