T/ZPP 016-2022-光伏硅片脱胶插片一体化技术要求-国家数字标准馆

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光伏硅片脱胶插片一体化技术要求

发布日期： 2022-08-31

实施日期： 2022-09-15

主要技术内容:本文件规定了光伏硅片脱胶插片的术语和定义、作业流程、设备、性能参数、技术要求、试验方 法、检验规则、标志、包装、运输和贮存要求。本文件适用于光伏硅片脱胶插片一体化

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料

关联关系

研制信息

归口单位：浙江省品牌建设促进会

起草单位：杭州中为光电技术有限公司、张家港市声达超声科技有限公司、上海友电绿能自动化有限公司、浙江晶盛机电股份有限公司、浙江求是半导体设备有限公司

起草人：李宏、景健、张江水、王俊、张广犬、黄游、方勇健、陈宏

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