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现行 YS/T 1164-2016
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硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 Test method for the content of impurities in high purity quartz used for silicon material—Inductively coupled plasma atomic emission spectrometry method
发布日期: 2016-07-11
实施日期: 2017-01-01
本标准规定了多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定方法
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