改良西门子法多晶硅用硅芯
Silicon core for polysilicon by improved siemens method
发布日期：
2015-04-30
实施日期：
2015-10-01
本标准适用于以多晶硅为原料，通过直拉法（CZ）生产硅棒再经过线切割加工或采用基座法拉制的硅芯
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