T/YGAZXH 1-2024-铌酸锂晶圆内部脉理条纹观测及分级方法-国家数字标准馆

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铌酸锂晶圆内部脉理条纹观测及分级方法

发布日期： 2024-09-26

实施日期： 2024-11-01

主要技术内容:本文件描述了采用纹影法对铌酸锂晶圆内部脉理条纹进行观测及分级的方法。本文件适用于铌酸锂晶圆内部脉理条纹的观测及分级

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

CCS分类： L电子元器件与信息技术

ICS分类： 31.260电子学 - 光电子学、激光设备

关联关系

研制信息

归口单位：广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会

起草单位：江西匀晶光电技术有限公司、济南晶正电子科技有限公司、北京世维通科技股份有限公司、珠海光库科技股份有限公司、华中科技大学

起草人：夏宗仁、胡文、王旭阳、吉贵军、孙军强

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