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半导体冰箱通用技术要求
发布日期: 2024-07-09
实施日期: 2024-08-01
范围:本文件适用于半导体冰箱的设计和生产; 主要技术内容:本文件给出了半导体冰箱的术语和定义、设计要求、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存的要求
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