主要技术内容:本文件规定了高纯多晶硅生产低碳清洁的硅烷流化床工艺与改良西门子工艺及其对比、多晶硅单位产品能源消耗限额、高纯多晶硅生产低碳指标、检测与过程控制、主要装置、主要原料、劳动安全与职业卫生、运行与维护等要求。本文件适用于我国多晶硅企业的生产审核、生产绩效评定和生产绩效公告制度，其他新建或改扩建项目环境影响评价、环保核查、行业准入等可参考使用