Государственная система обеспечения единства измерений. Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Определение и калибровка латерального разрешения ближнепольного оптического микроскопа
确保测量一致性的状态系统 表面化学分析 扫描探针显微镜 近场光学显微镜的横向分辨率的定义和校准
Данный международный стандарт описывает метод определения пространственного (латерального) разрешения апертурного ближнепольного сканирующего оптического микроскопа посредством формирования изображения объекта размером много меньше, чем ожидаемое разрешение. Документ применим для апертурных ближнепольных сканирующих оптических микроскопов, работающих в проходящем, отраженном, собирающем режиме(ах) излучение/сбор