T/CNIA 0118-2021-电子工业用高纯氢氟酸中痕量杂质元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法-国家数字标准馆

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电子工业用高纯氢氟酸中痕量杂质元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法

发布日期： 2021-03-19

实施日期： 2021-09-01

主要技术内容:本文件规定了电感耦合等离子体质谱法测定电子工业用高纯氢氟酸中杂质元素（铝、锑、砷、钡、硼、镉、钙、铬、铜、铁、铅、锂、镁、锰、镍、钾、钠、锡、钛、钒、锌）含量的方法。本文件适用于电子工业用高纯氢氟酸中痕量杂质元素含量的测定，测定范围为0.001μg/kg～10.000μg/kg。标准工作曲线法适用于各痕量杂质元素含量＞0.100μg/kg；标准加入法适用于各痕量杂质元素含量≤0.100μg/kg

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

ICS分类： 71.040.40分析化学 - 化学分析

关联关系

研制信息

归口单位：中国有色金属工业协会

起草单位：青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、青海芯测科技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司

起草人：秦榕、申梅桂、李升业、岳玉芳、蒲存芬、刘凤华、张啸虎、马婷、曹岩德、鲁文锋

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