T/ICMTIA ESG0014-2022-集成电路用混合气体 30%氧/氦-国家数字标准馆

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集成电路用混合气体 30%氧/氦

发布日期： 2022-04-08

实施日期： 2022-05-01

主要技术内容:本文件规定了集成电路用混合气30%氧/氦的技术要求、试验方法、抽样、判定和复验、标志、包装、运输及储存的要求。本文件适用于集成电路用混合气30%氧/氦，其它组分比例的氧氦混合气可以参考执行

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

ICS分类： 01.020综合、术语学、标准化、文献 - 术语学(原则和协调配合)

关联关系

研制信息

归口单位：中关村集成电路材料产业技术创新联盟

起草单位：中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八研究所

起草人：倪珊珊、郑秋艳、殷越玲、张净普、李帅楠、滕莹、袁瑞玲、苏子杰

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