KS D ISO 17973-2011(2021)-表面化学分析——中分辨率俄歇电子光谱仪——元素分析用能标的校准-国家数字标准馆

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표면 화학 분석－중분해능 오제 전자 분광기－원소 분석을 위한 에너지 눈금 교정 表面化学分析——中分辨率俄歇电子光谱仪——元素分析用能标的校准

发布日期： 2011-12-30

该标准明确了用3eV的不确定度校正奥杰电子光谱仪运动能量刻度的方法，可用于表面确认元素的常规分析。另外，还明确确立校对日程的方法。该标准可适用于直接型或微分型使用的设备，此时的分解能在0.5%以下，使用时对微分型的调制振幅为2eV的峰-带-峰值。该标准可适用于使用4keV或以上束能量工作的电子枪和用于样品清洗过程的离子枪或其他方法的分光计。

이 표준은 표면에서 원소 확인을 위한 일반적인 분석에 사용될 수 있도록 3 eV의 불확도로 오제 전자 분광기의 운동 에너지 눈금을 교정하는 방법에 대해 명기한다. 추가로, 교정 일정을 확립하는 방법에 대해서도 명기한다. 이 표준은 직접형 또는 미분형으로 사용된 장비에 적용할 수 있는데, 이때의 분해능은 0.5 % 이하이고, 사용될 경우 미분형에 대한 변조 진폭은 2 eV의 봉우리-대-봉우리 값이 된다. 이 표준은 4 keV 혹은 그 이상의 빔 에너지로 작동되는 전자 총과 시료 세정 과정을 위한이온 총 혹은 다른 방법을 사용하는 분광계에 적용할 수 있다.

分类信息

发布单位或类别：韩国-韩国标准

ICS分类： 71.040.40分析化学 - 化学分析

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