GB/T 5226.33-2017-机械电气安全机械电气设备第33部分：半导体设备技术条件-国家数字标准馆

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机械电气安全机械电气设备第33部分：半导体设备技术条件 Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment

发布日期： 2017-10-14

实施日期： 2018-05-01

GB/T 5226 的本部分规定了半导体设备相关的制造、测量、组装和测试的电气、电子和可编程电子设备及系统的安全要求

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： J09机械 - 机械综合 - 卫生、安全、劳动保护

ICS分类： 29.020电气工程 - 电气工程综合

关联关系

研制信息

归口单位：全国工业机械电气系统标准化技术委员会

起草单位：中微半导体设备(上海)有限公司、北京机床研究所、上海微电子装备有限公司、北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司、沈阳拓荆科技有限公司、北京七星华创电子股份有限公司、中晟光电设备（上海）有限公司、理想太阳能（上海）有限公司、盛美半导体设备（上海）有限公司

起草人：李天笑、黄祖广、王海涛、田保峡、郭和平、沈红、孙东曦、潘菊凤、孙岩、刘忠武、张志强、李补忠、薛瑞娟

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