T/CASME 272-2022-电子工业用高纯氯化氢气体-国家数字标准馆

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电子工业用高纯氯化氢气体

发布日期： 2022-12-29

实施日期： 2022-12-31

范围:本文件适用于以工业合成氯化氢或其他来源工业氯化氢为原料经纯化制得的气体，主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺，也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域;
主要技术内容:本文件规定了电子工业用高纯氯化氢气体的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和安全警示

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

CCS分类： G化工

ICS分类： 71.100.20化工产品 - 工业气体

关联关系

研制信息

归口单位：中国中小商业企业协会

起草单位：浙江瑞亨电子材料有限公司、上海亿钶气体有限公司、上海亿钶工程技术有限公司、美新半导体（绍兴）有限公司、江苏元佳新材料有限公司、中国中小商业企业协会

起草人：李飞明、茅天峰、陈公哲、张丽丽、陶建春、邱俊

相似标准/计划/法规

GB/T 14602-2014

电子工业用气体氯化氢
Gases for electronic industry—Hydrogen chloride

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