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多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法
发布日期：
2020-05-27
实施日期：
2020-08-01
主要技术内容:本标准规定了多晶硅用氢气中磷化氢含量的气相色谱测定方法。本标准适用于多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定，测定范围为0.02×10-9～1×10-5(v/v)
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地 址：北京市海淀区知春路4号
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