Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1
洁净室和相关的受控环境 第2部分测试和监测的规范 以证明继续符合ISO 14644-1
实施日期:
2003-01-01
废止日期:
2020-12-01
本标准规定,以确认其持续符合按照GOST R ISO 14644-1气溶胶粒子的指定清洁度等级的洁净室或洁净区的周期性控制的要求。
这些要求涉及到遵守洁净室或洁净区的控制根据GOST R ISO 14644-1指定的清洁度等级。该标准规定的要求和额外的监控。根据用户的自由裁量权,特殊类型的控件可以识别。
本标准规定了监测洁净室或洁净区的要求来证明持续符合根据GOST R ISO 14644-1指定的洁净室清洁度等级
Настоящий стандарт устанавливает требования к периодическому контролю чистого помещения или чистой зоны с целью подтверждения их постоянного соответствия заданному классу чистоты по аэрозольным частицам по ГОСТ Р ИСО 14644-1.
Эти требования относятся к проведению контроля соответствия чистого помещения или чистой зоны заданному классу чистоты по ГОСТ Р ИСО 14644-1. Стандарт определяет требования и к дополнительным видам контроля. По решению пользователя могут быть определены специальные виды контроля.
Настоящий стандарт определяет требования к мониторингу чистого помещения или чистой зоны с целью подтверждения постоянного соответствия чистого помещения заданному классу чистоты по ГОСТ Р ИСО 14644-1