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现行 T/CAB 0156-2022
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智能家电用金属氧化物MEMS气体传感器
发布日期: 2022-07-05
实施日期: 2022-07-05
范围:本文件规定了智能家电用金属氧化物MEMS气体传感器的术语和定义、技术要求、试验方法等。 注:在不引起混淆的情况下,本文件中的“金属氧化物MEMS气体传感器”简称为“MEMS气体传感器”。 本文件适用于家用及类似用途电器用MEMS气体传感器的设计、生产、检测。 本标准规定的产品所使用的水源为符合GB 5749要求的饮用水; 主要技术内容:本文件所述MEMS气体传感器由微纳结构的半导体气敏材料结合MEMS工艺的加热器集成制造而成,在硅片上实现了气体浓度检测功能以达到家电的智能反馈控制
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