T/ZJCX 0049-2024-碳化硅衬底激光剥离设备-国家数字标准馆

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碳化硅衬底激光剥离设备

发布日期： 2024-12-24

实施日期： 2024-12-25

                主要技术内容:本文件规定了碳化硅衬底激光剥离设备的术语和定义、工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输和贮存。本文件适用于碳化硅衬底激光剥离设备的生产和检验

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

CCS分类： L电子元器件与信息技术

关联关系

研制信息

归口单位：浙江省企业技术创新协会

起草单位：西湖仪器（杭州）技术有限公司、西湖大学、西湖大学光电研究院、北京天科合达半导体股份有限公司、山西烁科晶体有限公司、浙江材孜科技有限公司、河北同光半导体股份有限公司

起草人：仇旻、刘东立、俞小英、朱佳凯、刘峰江、陈文轩、刘春俊、魏汝省、王明华、崔景光

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