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现行 KS I ISO 14644-3-2006(2016)
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클린룸 및 관련된 제어 환경-제3부:시험 방법 洁净室及相关受控环境第3部分:试验方法
发布日期: 2006-11-28
该规格规定了判别洁净室和洁净区指定空气洁净度等级和性能的试验方法。性能试验对2种方式(单向流和非单向流)的洁净室和洁净区及3种试验状态(竣工状态、非驾驶状态、驾驶状态)进行规定。试验方法推荐可以决定性能变量的试验设备和试验程序。根据洁净室或洁净区的方式,如果试验方法受到影响,建议采取其他步骤。对于某些试验,考虑到不同的最终使用,推荐几种不同的方法和设备。如果买方和供货商之间有约定,也可以使用本规格中未包括的其他方法。如果使用不同的方法,不一定会实现同等的测量。该规格不能适用于洁净室或隔离设备上产品或工序的测量。
이 규격은 클린룸과 청정 구역의 지정된 공기 청정도 등급과 성능을 판별하는 시험 방법을규정한다. 성능 시험은 2가지 방식(단일 방향류와 비단일 방향류)의 클린룸과 청정 구역 및 3가지 시험 상태(준공 상태, 비운전 상태, 운전 상태)에 대하여 규정한다. 시험 방법은 성능 변수를 결정할 수 있는 시험장비와 시험 절차를 추천한다. 클린룸이나 청정 구역의 방식에 따라 시험 방법이 영향을 받는 경우 다른절차가 제안된다. 어떤 시험의 경우 다른 최종 사용을 고려하여 몇 가지 다른 방법과 장비가 추천된다. 구매자와 공급자 사이의 약정이 있다면, 이 규격에 포함되어 있지 않은 다른 방법도 사용될 수 있다. 다른방법을 사용하는 경우 반드시 동등한 측정이 이루어지는 것은 아니다. 이 규격은 클린룸이나 격리 장비에서 제품이나 공정의 측정에 적용할 수 없다.
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