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现行 KS I ISO 14644-1-2017
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클린룸 및 제어된 환경 — 제1부: 입자 농도에 의한 공기 청정도 등급분류 洁净室和相关控制环境 - 第1部分:通过颗粒浓度分类空气清洁度
发布日期: 2017-12-26
该标准从洁净室及洁净区空气悬浮颗粒浓度的角度规定了空气洁净度的等级分类。另外,其他设备遵循KS I ISO 14644-7中定义的内容。
이 표준에서는 클린룸 및 청정 구역의 공기 부유 입자 농도 측면에서 공기 청정도의 등급분류를 규정한다. 그리고 별도의 장치는 KS I ISO 14644-7에서 정의된 내용을 따른다.
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