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现行 YS/T 1123-2016
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铂蒸发料 Evaporated platinum material
发布日期: 2016-07-11
实施日期: 2017-01-01
本标准规定了铂蒸发料的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。 本标准适用于半导体行业用的铂蒸发料
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研制信息
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