磁性溅射靶材透磁率测试方法
Testing method on pass through flux of magnetic sputtering target
发布日期：
2016-07-11
实施日期：
2017-01-01
本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义、检测设备、检验过程及结果计算等内容。
本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验
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