20240136-T-469-金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法-国家数字标准馆

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金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法 Test method for dislocation density of diamond single crystal polished wafers

下达日期： 2024-03-25

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准计划

ICS分类： 77.040冶金 - 金属材料试验

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：中国科学院半导体研究所、德州学院、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、江苏卓远半导体有限责任公司、北京聚睿众邦科技有限公司、吉林大学、安徽光智科技有限公司

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