表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准
Surface chemical analysis—X-ray photoelectron spectrometers—Calibration of energy scales
发布日期:
2017-09-07
实施日期:
2018-01-01
本标准规定了一种用于一般分析目的时校准 X 射线光电子能谱仪结合能标尺的方法,该谱仪使用非单色化 Al 或 MgX 射线或单色化 AIX 射线。它仅适于带有溅射清洁用的离子枪的仪器。本标准还进一步规定了一种方法,用以建立校准程序、在中间某一能量值测试结合能标尺线性度、在高低结合能区各取一点确认标尺校准的不确定度、对标尺的小漂移作修正以及规定在95%置信度时该结合能标尺校准的扩展不确定度。这个不确定度包括来自实验室际研究中观察到的现象的贡献,但不涵盖所有可能发生的缺陷。本标准不适用有下述情况的仪器:结合能标尺的误差随能量明显非线性变化、工作在固定减速比模式且减速比小于10、谱仪的分辨率差于1.5eV或者要求容差极限为士0.03eV或更小。本标准不提供全标尺校准检验,该检验要对每一个在能量标尺上能找到的点加以验证,需按仪器制造商的推荐程序进行