磁悬浮转子真空计校准规范
Calibration Specification for Magnetic Suspension Spinning Rotor Gauges
发布日期：
2022-04-29
实施日期：
2022-10-29
本规范适用于测量范围在(l×10-4～1) Pa以内的磁悬浮转子真空计的校准
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