GB/T 40577-2021-集成电路制造设备术语-国家数字标准馆

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集成电路制造设备术语 Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment

发布日期： 2021-10-11

实施日期： 2022-05-01

本文件规定了集成电路(IC)制造设备的基本和常用术语，包括基础术语，晶体生长加工设备、掩模制造设备、光刻与刻蚀设备、掺杂设备、薄膜淀积设备、清洗设备、封装设备、检测设备的术语及公用部件术语。
本文件适用于集成电路制造设备的设计开发、生产和应用，也适用于集成电路制造设备的科研、教学和出版工作

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： L95电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 电子工业生产设备综合

ICS分类： 31.220电子学 - 电子电信设备用机电元件

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：中国电子技术标准化研究院、浙江晶盛机电股份有限公司、中电科电子装备集团有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备（上海）股份有限公司、上海微电子装备（集团）股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、江苏卓远半导体有限公司

起草人：张军华、冯亚彬、曹可慰、曹建伟、裴会川、朱亮、周哲、武小娟、杜若昕、唐彩红、丁晓民、傅林坚、魏唯、田涛、刘英斌、李国平、王宏智

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ETSI EN 300 812-3

Terrestrial Trunked Radio (TETRA); Subscriber Identity Module to Mobile Equipment (SIM-ME) interface; Part 3: Integrated Circuit (IC); Physical, logical and TSIM application characteristics
地面集群无线电（TETRA）；用户识别模块至移动设备（SIM-ME）接口；第三部分:集成电路；物理、逻辑和TSIM应用特性

DIN EN 300812-3

Terrestrial Trunked Radio (TETRA) - Subscriber Identity Module to Mobile Equipment (SIM-ME) interface - Part 3: Integrated Circuit (IC) - Physical, logical and TSIM application characteristics (Endorsement of the English version EN 300812-3 V2.3.1 (2005-12) as German standard)
地面集群无线电（TETRA）.用户识别模块到移动设备（SIM-ME）接口.第3部分:集成电路（IC）.物理、逻辑和TSIM应用特性（认可英语版EN 300812-3 V2.3.1（2005-12）为德国标准）

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