GB/Z 43684-2024-纳米技术光栅的描述、测量和尺寸质量参数-国家数字标准馆

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纳米技术光栅的描述、测量和尺寸质量参数 Nanotechnologies—Description, measurement and dimensional quality parameters of gratings

发布日期： 2024-03-15

实施日期： 2024-10-01

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： L04电子元器件与信息技术 - 电子元器件与信息技术综合 - 基础标准与通用方法

关联关系

研制信息

归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会

起草单位：中国计量科学研究院、北京大学、清华大学、苏州苏大维格科技集团股份有限公司、广纳四维（广东）光电科技有限公司

起草人：李伟、李适、朱振东、李群庆、陈林森、李晓军、高思田、李琪、施玉书、黄鹭、史瑞、乔文、华鉴瑜

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