范围:本规范适用于采用真空度现场校准装置对测量范围为（10-1~10-7）Pa内的真空计实现工作现场的校准和使用中检查; 主要技术内容:3  术语定义下列术语和定义适用于本规范。3.1动态流量法 Dynamic flow method采用动态流量的方法得到的标准压力与被校准真空计所测压力相比较的校准方法。3.2动态比较法 Dynamic comparison method采用动态的方法得到的标准压力与被校准真空计所测压力相比较的校准方法。4  概述4.1  构造真空计现场校准使用的真空度现场校准装置具有小巧、便携、容易移动的特性，能够带入生产现场开展校准工作。真空度现场校准装置主要由校准室、标准真空计、抽气系统、控制系统等组成，RP1为机械泵；TMP1、TMP2为分子泵；VC1为校准室；VC2为稳压室；C1，C2，C3是小孔；V1为插板阀；V4为微调阀；V11、V12为电磁阀；其余阀门为球阀； G1为电离规；G2为全量程真空计；G3、G4、G5是满量程为133Pa、1330 Pa、133000Pa的电容薄膜真空计，装置原理图如图1所示。图1 真空度现场校准装置原理图原理4.2.1 动态流量法动态流量法是在分子流条件下采用进气小孔C1对较高压力的气体连续膨胀到校准室中，通过校准室下方的限流抽气小孔C2对校准室连续抽气，在校准室中形成动态平衡的稳定压力，以此压力作为参考标准校准真空计。标准压力的计算公式如下：P_2=P_1  C1/(C_2 (1- ) )                       （1）式中：—进气小孔C1入口的压力，单位：Pa；—校准室中的压力，单位：Pa；C1—进气小孔C1的标准流导值，单位：m3/s；C2—限流抽气小孔C2的标准流导值，单位：m3/s；—限流抽气小孔C2处的返流比。4.2.2动态比较法通过进气阀门向校准室中引入一定量的气体，同时通过校准室下方的限流抽气小孔对校准室连续抽气，在校准室内形成动态稳定的气体压力，通过被校准真空计和参考标准同时测量校准室压力，进行比较从而实现校准。4.3   技术指标本标准要求的计量技术指标为压力示值误差，真空计压力示值允许误差限见表1。表1  压力示值允许误差限真空计种类标准项目　超高真空电离真空计　热阴极电离真空计　冷阴极电离真空计压力示值允许误差限　±70%　±50%　+100%；-60%4.4   通用技术要求4.4.1 外观真空计应有铭牌。铭牌一般应注明名称、型号/规格、制造单位、出厂编号、最大工作压力、工作温度范围、准确度等级或引用误差、制造计量器具许可证标志和编号、制造日期等。真空计显示的数字应醒目、整齐，表示功能的文字符号和标识应完整、清晰、 端正。4.4.2 密封性真空计表体应不泄漏。5  校准环境5.1  环境条件环境温度：（10~40）℃，温度波动不大于3℃/h；相对湿度：≤80%；周围无影响正常校准的热源、电磁干扰，无剧烈振动，无腐蚀性气体。5.2  校准用气体纯度不低于99.9%的氮气。5.3  校准用设备校准设备应经过计量技术机构校准合格，并在有效期内。表2校准用标准设备序号　名称　测量精度　测量范围1　电容薄膜真空计　≤0.4%　（133~0.01）Pa2　电容薄膜真空计　≤0.4%　（1330~1）Pa3　电容薄膜真空计　≤0.4%　（133000~1000）Pa4　电离真空计　10%　（1～10-9）Pa6  校准项目和校准过程6.1  校准项目本标准要求的校准项目为压力示值误差，如图1所示，压力校准在不同的范围采用不同的方法实现校准，在（10-1～10-4）Pa范围内采用电离真空计（G2）作为参考标准；在（10-4～10-7）Pa范围内采用电容薄膜规测量流导入口压力。校准过程中每个压力量级选取10%、60%、90%附近的三个压力点作为校准点，校准过程选择校准压力点按照由低到高的顺序进行。6.2  校准过程6.2.1  外观和附件被校设备外观完好，无影响正常工作的机械损伤，各种接口符合规定要求，应标有名称、型号、制造厂及出厂序号等附件。6.2.2  工作正常性用目视方法检查，被校真空计接入标准装置，在真空状态下，通电后控制单元显示是否正常。6.2.3  （10-1～10-4）Pa动态比较法校准步骤a) 打开机械泵抽气，打开旁通阀门V10抽气，在G2读数小于100Pa后关闭阀门V10，打开阀门V1、V11，启动分子泵对校准室抽气。b) 关闭阀门V6在G2读数小于10-2Pa后打开真空规G1，在校准室压力小于1×10-4Pa后且G2正常工作1小时以上记录G2的读数作为装置的本底压力。c) 调节阀门V4向校准室引入一定压力的氮气，使G2的压力稳定3×10-4Pa压力点附近，待压力稳定后分别记录被校规与标准规的示值。d) 依照步骤c继续调节阀门V4的开度，使G2的压力依次稳定在1×10-4Pa、6×10-4 Pa、9×10-4 Pa、1×10-3 Pa、6×10-3 Pa、9×10-3 Pa、1×10-2 Pa、6×10-2 Pa、9×10-2 Pa压力点附近，记录被校规示值P_3与标准示值P_4，得到示值误差。6.2.4  （10-4～10-7）Pa动态流量法校准步骤a) 打开机械泵抽气，打开旁通阀门V10抽气，在G2读数小于100Pa后关闭阀门V10，打开阀门V1、V11，启动分子泵对校准室抽气。b) 打开G3、G4、G5及被校准真空计，当G3、G4、G5稳定3小时以上且装置本底压力小于5×10-3Pa（G2示值）后对G3、G4、G5进行调零。c) 关闭阀门V6，打开阀门V7。向VC3及管路中充入一定压力的氮气（由G3、G4、G5测量），充入压力的多少，根据需要调节的压力点通过公式2计算得到。d) 通过阀门V5、选取C2或C3向校准室VC1中进气。e) 调节VC3中的压力，标准压力依次稳定在1×10-7Pa、6×10-7Pa、9×10-7 Pa、1×10-6 Pa、6×10-6 Pa、9×10-6 Pa、1×10-5 Pa、6×10-5 Pa、9×10-5 Pa压力点附近记录被校规示值P_3与标准示值P_4，得到示值误差。7  校准结果的处理校准结果的相对误差可以用下列公式计算，δ=  (P_3-P_(4 ))/P_4 ×100%                                  （2）式中：δ—校准结果的相对误差；P_3—被校真空计的示值，单位：Pa；P_4—校准设备的标准示值，单位：Pa。校准数据按四舍五入及偶数法则进行修约，保留的有效位数应使末位数与测量结果不确定度的量值相对应。校准结束后应出具校准证书，校准证书中，应该包括校准条件下，校准所得各种数据，并给出相应校准结果的不确定度。校准证书应包括委托方要求的、说明校准结果所必需的和所用方法要求的全部信息。8  校准周期真空计校准周期一般不超过12个月