T/QGCML 396-2022-线切割后清洗机-国家数字标准馆

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线切割后清洗机

发布日期： 2022-10-10

实施日期： 2022-10-25

主要技术内容:本文件规定了线切割后清洗机的术语和定义、材料要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、使用说明书、包装、运输及贮存。本文件适用于硅片线切割后清洗机（以下简称清洗机）的生产和检验

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

ICS分类： 23.100.01流体动力系统 - 流体动力系统综合

关联关系

研制信息

归口单位：全国城市工业品贸易中心联合会

起草单位：浙江艾科半导体设备有限公司、天通吉成机器技术有限公司、上海超硅半导体股份有限公司、上海至纯洁净系统科技股份有限公司、竹菱（上海）电子贸易有限公司、科倍氟科技（上海）有限公司、湖州东科电子石英股份有限公司、基恩士（中国）有限公司、三菱电机自动化（中国）有限公司

起草人：吴昆、许程超、贾泓超、沈飞、黄杰、陈凯、孙文兵、朱振涛、张春雷

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