T/SZBX 178-2024-激光直写光刻设备-国家数字标准馆

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激光直写光刻设备

发布日期： 2024-07-29

实施日期： 2024-07-30

范围:本文件适用于单面PCB板制造等场景用的激光直写光刻设备(以下简称光刻设备);
主要技术内容:本文件规定了激光直写光刻设备的分类与编码/构成、一般要求、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

CCS分类： L电子元器件与信息技术

ICS分类： 31.260电子学 - 光电子学、激光设备

关联关系

研制信息

归口单位：苏州市标准化协会

起草单位：本文件起草单位：源卓微纳科技（苏州）股份有限公司、源能智创（江苏）半导体有限公司、中国质量认证中心有限公司、苏州市质量和标准化院

起草人：本文件主要起草人：张雷、朱亮、高安、刘栋、惠志婷、马贝贝

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