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气相沉积法碳化硅涂层
发布日期：
2019-02-13
实施日期：
2019-06-01
主要技术内容:本标准规定了气相沉积法碳化硅涂层（以下简称碳化硅涂层）的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。本标准适用于以甲基三氯硅烷和氢气为主要原料，通过气相沉积法制备的碳化硅涂层。产品主要用于光伏领域石墨材料表面
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