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SJ/T 31080-2016
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光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法
Pattern generator for photomask making requirements of readiness and methods of inspection assessment
发布日期：
2016-01-15
实施日期：
2016-06-01
本标准规定了光掩模制作用图形发生器的完好要求和检查评定方法。
本标准适用于3600F型图形发生器，其他型号图形发生器（如3600型、EM250型等）可参照本标准并结合该设备的具体指标检查评定
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