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现行 T/CNIA 0064-2020
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多晶硅行业用无尘擦拭布中杂质含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
发布日期: 2020-05-27
实施日期: 2020-08-01
主要技术内容:本标准规定了多晶硅行业用无尘擦拭布中硼、磷、钠、镁、钾、钙、铬、铁、镍、铜、锌杂质含量的测定方法。本标准适用于多晶硅行业用无尘擦拭布中硼、磷、钠、镁、钾、钙、铬、铁、镍、铜、锌杂质含量的测定,测定范围为0.10 μg/g~10.00 μg/g
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