本标准适用于旨在用于固体，液体和气态物质57h10重量从1666到艺术用于离子注入，离子注入装置。零下27到67h10 217.534艺术。的零下27千克（1至131即米），包括硼，磷，锌，砷的基本和多电荷离子，硒和锑与来自艺术1,6h10离子的等效能量。零下15到艺术1,6h10。减去13Ĵ（10keV至1200）在半导体器件中，集成电路和其他微电子产品的制造

Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники