T/CIET 756-2024-惰性气体提纯技术规范-国家数字标准馆

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惰性气体提纯技术规范

发布日期： 2024-11-06

实施日期： 2024-11-06

范围:本文件规定了惰性气体提纯的术语和定义、缩略语、基本要求、提纯方法、技术要求和试验方法。
本文件适用于电子气体中惰性气体的提纯，不适用于5N纯度惰性气体的制取;
主要技术内容:本文件规定了惰性气体提纯的术语和定义、缩略语、基本要求、提纯方法、技术要求和试验方法。本文件适用于电子气体中惰性气体的提纯，不适用于5N纯度惰性气体的制取

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

ICS分类： 71.100.20化工产品 - 工业气体

关联关系

研制信息

归口单位：中国国际经济技术合作促进会

起草单位：杭氧集团股份有限公司、中国科学院西北生态环境资源研究院、大连华邦化学有限公司、杭州福斯达深冷装备股份有限公司、浙江大学衢州研究院、杭州良环科技有限公司、成都益志科技有限责任公司、深圳捷工科技股份有限公司、通标中研标准化技术研究院（北京）有限公司、途邦认证有限公司

起草人：刘尚进、曹春辉、钱吉、阮家林、杨启炜、冶小军、余浩、刘军航、韩帅、李立武、李文强、董华艳、任其龙、范斌、李振东、高毅、南竹、刘岩、吴永利、汪贤峰、雷晓飞、徐敬铭、包瑾、刘莉慧

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