T/CHPSA YY004-2024-超洁净气动波纹管泵-国家数字标准馆

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超洁净气动波纹管泵

发布日期： 2024-11-01

实施日期： 2024-12-01

主要技术内容:本文件规定了超洁净气动波纹管泵的泵结构、型号及参数、基本规定、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

ICS分类： 23.020.01流体存储装置 - 流体存储装置综合

关联关系

研制信息

归口单位：中国液压气动密封件工业协会

起草单位：浙江启尔机电技术有限公司、浙江大学、江苏沃凯氟精密智造有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、华海清科股份有限公司、盛美半导体设备（上海）股份有限公司、沈阳芯源微电子设备股份有限公司、上海正帆科技股份有限公司、上海至纯系统集成科技有限公司、苏州冠礼科技有限公司、创微微电子（常州）有限公司、吉姆西半导体科技（无锡）有限公司、江苏亚电科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第二研究所、江苏科沛达半导体科技有限公司、江苏芯梦半导体设备有限公司、上海市计量测试技术研究院、中国液压气动密封件工业协会

起草人：傅新、胡亮、苏芮、杨军、张翼飞、薛飞、袁仕芳、贾振国、曹永友、赵德文、吴均、苗涛、李东升、傅文凯、张仕成、庄海云、李松松、李刚、靳志强、叶建东、蒋超伟、李春华、付华

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