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高精度金属掩膜版技术要求
发布日期: 2024-09-25
实施日期: 2024-09-25
范围:本文件规定了高精度金属掩膜版的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于高精度金属掩膜版; 主要技术内容:本文件规定了高精度金属掩膜版的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于高精度金属掩膜版
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