KS L 1619-2013(2018)-四探针阵列导电陶瓷薄膜电阻率测试方法-国家数字标准馆

现行 KS L 1619-2013(2018)

到馆提醒

收藏跟踪

购买正版

파인 세라믹 박막의 4탐침법에 의한 저항률 시험방법 四探针阵列导电陶瓷薄膜电阻率测试方法

发布日期： 2013-10-26

该标准规定了四探针法测试坡因陶瓷薄膜电阻率的方法。适用的电阻率范围为（1× 10至5英寸（2厘米）× 102）Wcm，膜厚500毫米以下。

이 표준은 파인 세라믹 박막의 저항률을 4탐침법에 의해 시험하는 방법에 관하여 규정한다. 적용 가능한 저항률의 범위는 (1 × 10 －5 ) Wcm에서 (2 × 10 2 ) Wcm로 하며, 막의 두께는 500 mm 이하로 한다.

分类信息

发布单位或类别：韩国-韩国标准

ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料

关联关系

研制信息

相似标准/计划/法规

KS L 1619(2023 Confirm)

파인 세라믹 박막의 4탐침법에 의한 저항률 시험방법
用四点探针阵列测试导电陶瓷薄膜电阻率的方法

JIS R 1637-1998

Test method for resistivity of conductive fine ceramic thin films with a four-point probe array
用四探针阵列测定导电细陶瓷薄膜电阻率的试验方法

JIS R 1635-1998

Test method for visible light transmittance of fine ceramic thin films
精细陶瓷薄膜可见光透射率的试验方法

KS L 1620(2018 Confirm)

전도성 세라믹 박막의 비저항 측정방법 — 반데르포우법
用于测量导电陶瓷薄膜用范德堡法的电阻率的测试方法

KS L 1620(2023 Confirm)

전도성 세라믹 박막의 비저항 측정방법 — 반데르포우법
范德波法测量导电陶瓷薄膜电阻率的试验方法

JIS R 1636-1998

Test method for thickness of fine ceramic thin films -- Film thickness by contact probe profilometer
GB/T-精细陶瓷薄膜厚度试验方法接触探针轮廓仪测量薄膜厚度

精细陶瓷耐高温冲刷试验方法
Test method for conducting erosion resistant of fine ceramics at high temperature

BS ISO 22278-2020

Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics). Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam
精细陶瓷（高级陶瓷、高级工业陶瓷）用平行X射线束X射线衍射法测定单晶薄膜（晶圆）结晶质量的试验方法

Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam
精细陶瓷（高级陶瓷高级工业陶瓷）.用平行X射线束X射线衍射法测定单晶薄膜（晶片）结晶质量的试验方法

《国家标准化发展纲要》提出建设国家数字标准馆，推动标准化工作向数字化、网络化、智能化转型。中国标准化研究院正在全力推进国家数字标准馆建设，力争在2026年底建成“一个中心”和“一个平台”，即全球领先的标准数据资源中心，涵盖标准全生命周期的数字化、网络化、智能化研究与服务平台。

专题数据库

标准管理系统

大数据分析系统

标准智能研制系统