T/UNP 162-2024-IGBT器件结构及制备工艺通用技术要求-国家数字标准馆

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IGBT器件结构及制备工艺通用技术要求

发布日期： 2024-08-02

实施日期： 2024-11-02

主要技术内容:前言1  范围2  规范性引用文件3  术语和定义4  缩略语5  基本结构6  设计要求7  设备要求8  制备流程9  制备安全参考文献

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料

关联关系

研制信息

归口单位：中国联合国采购促进会

起草单位：常州科瑞尔科技有限公司、江苏长晶科技股份有限公司、深圳市依思普林科技有限公司、河北雄安标兴科技服务有限公司、北京中科衡益标准技术服务有限公司、福建理工大学

起草人：高文祥、杨国江、张杰夫、宋文柱、李鹏、戴婧雯、宋宝祥、陈桂莲

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