GB/T 6620-1995-硅片翘曲度非接触式测试方法-国家数字标准馆

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硅片翘曲度非接触式测试方法 Test method for measuring warp on silicon slices by noncontact scanning

发布日期： 1995-04-18

实施日期： 1995-12-01

废止日期： 2010-06-01

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： H21冶金 - 金属理化性能试验方法 - 金属物理性能试验方法

ICS分类： 77.040.30金属材料试验 - 金属材料化学分析

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：洛阳单晶硅厂

起草人：王从赞、郭瑾、袁景怡

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Test method for measuring warp on silicon slices by noncontact scanning

《国家标准化发展纲要》提出建设国家数字标准馆，推动标准化工作向数字化、网络化、智能化转型。中国标准化研究院正在全力推进国家数字标准馆建设，力争在2026年底建成“一个中心”和“一个平台”，即全球领先的标准数据资源中心，涵盖标准全生命周期的数字化、网络化、智能化研究与服务平台。

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