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SJ 21260-2018
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金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备工艺验证方法
Technological verification procedures for metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) equipment
发布日期：
2018-01-18
实施日期：
2018-05-01
本标准规定了金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备工艺验证的一般要求、试验条件和验证方法等内容。
本标准适用于金属有机物化学气相淀积设备（以下简称MOCVD设备）工艺性能的验证
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