本标准适用于两个法兰在真空系统中，工艺设备用于电子设备的制造中直接和角折片，在从10到艺术的压力范围内操作。 5至10中的艺术。 -5 Pa时，并设定连接和安装尺寸与R5的10至400mm号公称直径阀

Настоящий стандарт распространяется на прямые и угловые клапаны с фланцевыми соединениями, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры для клапанов с условными проходами от 10 до 400 мм ряда R5