SJ/T 11492-2015-光致发光法测定磷镓砷晶片的组分-国家数字标准馆

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光致发光法测定磷镓砷晶片的组分 Test methods for measurement of composition of gallium arsenide phosphide wafers by photoluminescence

发布日期： 2015-04-30

实施日期： 2015-10-01

分类信息

发布单位或类别：中国-行业标准-电子

CCS分类： H83冶金 - 半金属与半导体材料 - 化合物半导体材料

ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料

关联关系

研制信息

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中国科学院半导体研究所、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司

起草人：李静、金鹏、何秀坤、刘兵、李翔、付雪涛

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