T/ZGM 011-2023-半导体行业超纯水制备终端用超滤膜组件产品认证技术要求-国家数字标准馆

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半导体行业超纯水制备终端用超滤膜组件产品认证技术要求

发布日期： 2023-10-11

实施日期： 2023-10-18

主要技术内容:超滤膜元件适用范围、规范性引用文件、术语和定义、技术要求和测试方法等

分类信息

发布单位或类别：中国-团体标准

CCS分类： J77机械 - 通用机械与设备 - 分离机械

ICS分类： 07.060数学、自然科学 - 地质学、气象学、水文学

关联关系

研制信息

归口单位：中国膜工业协会

起草单位：杭州科百特过滤器材有限公司、天津膜天膜科技股份有限公司、华东理工大学、中国电子系统工程第四建设有限公司、万华化学集团股份有限公司、沃顿科技股份有限公司、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、天津鼎芯膜科技有限公司、江苏爱科膜高科技有限公司

起草人：贾建东、范宁、程亮、鄢凯、魏汉辉、金焱、刘伟、张磊、石川、陈宁、张优慰、张海生、魏永明、彭美华

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