GB/T 42896-2023-微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法-国家数字标准馆

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微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法 Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS

发布日期： 2023-08-06

实施日期： 2023-12-01

分类信息

发布单位或类别：中国-国家标准

CCS分类： L59电子元器件与信息技术 - 微电路 - 微型组件

ICS分类： 31.200电子学 - 集成电路、微电子学

关联关系

研制信息

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会

起草单位：北京大学、中机生产力促进中心有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京燕东微电子科技有限公司、宁波芯健半导体有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、上海临港新片区跨境数据科技有限公司、广州奥松电子股份有限公司

起草人：张大成、杨芳、李根梓、顾枫、刘鹏、王旭峰、李凤阳、高程武、于志恒、陈艺、华璇卿、刘若冰、张彦秀、罗书明、武斌、张启心、张宾

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