洁净室及相关受控环境 第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
发布日期:
2021-08-20
实施日期:
2022-03-01
本文件规定了监测计划的基本要求。这个监测计划依据所测量的空气中悬浮粒子浓度或对其有影响的其他参数,监测洁净室或洁净区按粒子浓度划分的空气洁净度方面的性能。
本文件适用于粒径 0.1μm~5μm 粒子浓度的监测。
本文件不适用于振动或工程系统一般维护等监测。超细粒子(小于 0.1μm 的粒子)浓度的监测,将在另一个标准中规定
【到馆阅览须知】
国家标准馆位于北京市海淀区知春路4号,可接待到馆读者,为读者提供标准文献检索、文献阅览、信息咨询、信息跟踪、信息推送等服务。
1. 本馆向在国家数字标准馆网络平台上完成实名注册和预约的读者开放。
2. 请勿在非开放范围随意走动和从事与国家标准馆所提供服务无关的活动。
3. 请勿携带食品、有色和含糖饮料进入阅览区域。
4. 禁止在馆区内吸烟和使用明火,禁止携带易燃、易爆、有毒等危险品。
5. 请注意仪表着装,衣冠整洁得体,言谈举止文明。
6. 请遵守公共秩序和国家标准馆相关管理规定,服从工作人员管理,自觉维护参观秩序和良好的阅读环境。
开放时间: 每周一至周五8:30-17:00(节假日不开放)
地 址: 北京市海淀区知春路4号
乘车线路: 乘坐地铁10号线、昌平线,在西土城站下车D口出后西行150米即可到达。
服务咨询:
赵老师 电话:010-58811369 邮箱:zhaoping@cnis.ac.cn
刘老师 电话:010-58811368 邮箱:liuyzh@cnis.ac.cn
取消
确认预约到馆